1.靶材安装

溅射靶材安装过程中需要考虑是确保靶材与溅射枪冷却壁之间有良好的热连接。如果冷却壁服务器或壁服务器或支撑板严重翘曲，将极大地影响目标材料与背板之间的导热性，导致溅射过程中的散热故障，导致目标材料开裂或脱落。一层石墨纸可以放置在阴极冷却墙和目标材料之间，以确保足够的导热性。考虑到使用冷却水的清洁度，设备运行过程中可能会产生一些污垢，这些污垢可能会沉积在阴极冷却水箱中。因此，在安装目标时需要对阴极冷却水箱进行检查和清洗，以保证冷却水循环顺畅，进出口不堵塞。有些设备采用阴极与阳极间隙小的设计，因此在安装目标材料时，应确保阴极与阳极之间没有接触，没有导体，否则会出现短路。

1.1安装金属靶材

拧紧目标夹具时，先用手拧紧一个卸扣，然后用手在斜线上转动另一个卸扣，重复此操作，直到所有卸扣都安装好。

1.2安装陶瓷靶材

不建议将陶瓷靶体嵌入过紧。拧紧螺钉后，建议将螺钉返回半圆形，以避免溅射过程中靶体因体积膨胀而破裂。

2.短路和密封性检查

安装目标材料后，需要对整个阴极进行短路和密封检查。建议用电阻表摇动手表，判断阴极是否短路。阴极无短路后，可进行泄漏检查，将水送至阴极，确定是否有泄漏。

3.靶的预溅射

建议用纯氩溅射清洁靶面。建议在靶材预先溅射时，缓慢地增加溅射功率。推荐陶瓷靶材的功率增长速率为1.5W/cm2。金属靶的预溅射速度可快于陶瓷靶，合理功率为1.5Wh/cm2。对靶体的电弧进行预溅射检查，预溅射时间一般在10分钟左右。如果没有电弧，溅射功率将继续增加到设定功率。根据经验,可以承受的溅射功率金属目标是10瓦/厘米2和陶瓷的目标是3-4瓦/厘米2(溅射功率(RF)≤100W)。同时，请参考设置的用户系统操作手册(Pa)溅射真空室的压力。根据经验，冷却水出口水温一般应低于35℃，但重要的是确保冷却水循环系统能够有效工作。冷却水快速循环散热，保证了高功率，是溅射连续的重要保证。对于金属靶材，一般建议冷却水流量为20LPM，水压为5GMP左右。陶瓷靶材一般建议水流30LPM，水压约为9GMP。

4.溅射靶材的环境维护

为了避免程中，需要分阶段清除溅射轨道中间和两侧沉积的溅射材料，以帮助用户在溅射功率密度下连续执行溅射。黑暗区域的盾牌，腔壁和邻近的表面也需要保持清洁。清洁真空室时，建议用玻璃球喷砂处理脏部分，用压缩空气去除真空室周围的飞溅残留物，然后用渗铝砂纸轻轻抛光表面。用酒精、丙酮和去离子水清洗纱布，建议用工业真空吸尘器辅助清洗。