溅射靶材的制备工艺在近年来取得了多项创新，这些创新不仅提高了靶材的质量和性能，还推动了相关产业的发展。以下是对溅射靶材制备工艺创新的详细归纳：

一、熔炼铸造法的创新

真空熔炼技术：

采用真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等方法，在真空或惰性气体保护下熔炼金属原料，以减少杂质含量，特别是气体杂质的含量。

通过准确控制熔炼参数，如温度、时间和气氛，以获得高密度、高纯度的溅射靶材。

成分均匀化技术：

对于由多种金属组成的合金靶材，采用特殊的熔炼工艺，如磁场搅拌、电磁感应搅拌等，以确保合金成分的均匀分布。

通过轧制或锻造成型等方法，进一步改善合金靶材的内部组织结构和性能。

二、粉末冶金法的创新

粉末制备技术：

采用高纯、超细粉末作为原料，通过化学气相沉积、物理气相沉积或电解等方法制备粉末。

对粉末进行严格的筛选和分级，以确保粉末的粒度分布均匀，有利于提高靶材的致密度和均匀性。

成形烧结技术：

采用热压、真空热压和热等静压（HIP）等成形烧结技术，以实现粉末的快速致密化。

通过准确控制烧结参数，如温度、压力和时间，以获得低孔隙率、高致密度的溅射靶材。

晶粒控制技术：

在粉末冶金过程中，通过添加晶粒细化剂、控制烧结温度和保温时间等方法，以细化靶材的晶粒尺寸。

晶粒尺寸的均匀性对溅射速率和薄膜厚度的均匀性有重要影响，因此，需要严格控制晶粒尺寸及其分布。

三、其他创新工艺

溅射靶材的复合化：

通过将不同性质的金属或非金属材料复合在一起，形成具有特殊性能的溅射靶材。

复合靶材可以综合不同材料的优点，如高硬度、高耐磨性、高导电性等，以满足特定领域的需求。

溅射靶材的回收利用：

随着环保意识的提高和可持续发展理念的深入人心，溅射靶材的回收利用技术也日益受到关注。

通过采用回收工艺和设备，将废旧靶材进行破碎、分离、提纯等处理，以实现资源的循环利用。

四、智能化和自动化生产

生产过程的智能化：

引入智能化生产设备和控制系统，实现溅射靶材生产过程的自动化和智能化。

通过实时监测生产参数和产品质量，及时调整生产工艺和设备参数，以确保产品质量的稳定性和一致性。

生产管理的信息化：

建立完善的生产管理信息系统，实现生产数据的实时采集、分析和处理。

通过信息化手段优化生产流程和管理决策，提高生产效率和产品质量。

综上所述，溅射靶材的制备工艺在熔炼铸造法、粉末冶金法以及其他创新工艺方面取得了明显进展。这些创新不仅提高了靶材的质量和性能，还推动了相关产业的快速发展。未来，随着科技的不断进步和市场需求的不断变化，溅射靶材的制备工艺将继续向更高水平迈进。