旋转靶材,呈管状,主要应用在幕墙玻璃行业和显示行业。低熔点、低强度的金属靶材一般采用铸造方法制造,在不锈钢背管上熔铸靶材,支撑靶材。现有的旋转靶材铸造技术,在不锈钢背管外设置外管,底部封闭,形成腔,将金属熔液注入腔,保温一段时间,使金属熔液和不锈钢背管(镀镍或电弧喷涂镍铝层)浸润,然后冷却,得到靶材坯管,然后加工得到靶材成品。是一种铸造靶材用冷却器及冷却方法,能控制冷却水的上升速度,很好的实现对靶材从下到上顺序凝固。然而,在铸造过程中,由于渗透时间长,不锈钢背管表面的物质会进入金属熔体,导致杂质含量增加;此外,对于合金靶材,当合金熔体中的金属密度差异较大时,由于冷却时间长,在重力作用下,导致目标成分分布不均匀,严重会导致报废。
当浸润完成后,操作人员能对模具中的金属熔液进行更换,使得在冷却时模具中为低杂质含量且不偏析的的金属熔液,生产的靶材质量较好。包括背管,背管外设有与其同轴的外管,背管与外管底部设有密封连接的底环,背管与外管顶部设有多个支撑片,背管与外管之间形成空腔,还包括流道道与外管底部一侧连接,与背管与外管形成的空腔连接,外管顶部一侧设有出料管。
铸造旋转靶材的模具来铸造旋转靶材的方法,包括以下步骤:
1、将铸造旋转靶材的模具放入井式炉中并进行固定,之后进行预热;
2、通过流道将熔化的金属熔液注入背管与外管之间形成的空腔,并进行保温;
3、再次将熔化的金属熔液通过流道注入背管和外管之间的空腔中,此时步骤s2中注入的金属熔液将被向上顶,并从出料管排出;
4、在步骤s3完成后,立即用顺序凝固的方法对背管和外管之间空腔中的熔液从下到上进行冷却使其凝固。
5、与现有技术相比,本发明具有以下优点:浸润后,操作人员可以更换模具中的金属熔体,更换后立即冷却,使目标杂质含量低,成分分布均匀,质量好。.