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氧化钛锆管靶材是一种用于溅射镀膜工艺的材料,通常由氧化钛(TiO2)和氧化锆(ZrO2)组成,具有多种物理和化学性质。成分与结构成分:氧化钛锆管靶材主要由氧化钛和氧化锆组成,这两种氧化物在靶材中以一定的比例混合,形成均匀的复合材料。结构:靶