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氧化锆管靶材是指由氧化锆（ZrO₂）制成的用于薄膜材料制备的靶材。特性氧化锆管靶材因其独特的物理和化学性质而备受关注，主要特性包括：高熔点：氧化锆的熔点高达2700°C，这一特性使其能够在极端高温环境下工作，如热障涂层和高温炉窑的内衬材料。
