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高性能硅铝管靶(SiAl50)具备超高纯度的硅铝材质,经科学完善的工艺制成管靶,性能好,能在各类严苛环境下稳定运作。硅铝靶材是一种在薄膜沉积、半导体加工、涂层工艺等领域中应用广泛的材料。硅铝靶材主要由硅和铝两种材料混合制成,通常硅和铝的比例
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高性能硅铝管靶(SiAl50)具备超高纯度的硅铝材质,经科学完善的工艺制成管靶,性能好,能在各类严苛环境下稳定运作。硅铝靶材是一种在薄膜沉积、半导体加工、涂层工艺等领域中应用广泛的材料。硅铝靶材主要由硅和铝两种材料混合制成,通常硅和铝的比例