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铝氧化钛靶材的元素代号为Al、TiOx，是一种坚硬且耐化学腐蚀的白色钛氧化物。使用氧化钛溅射靶材可以获得高质量的氧化钛薄膜，由于其镀膜有着多种特性，已被广泛用于各种应用中。氧化钛薄膜应用铝氧化钛靶材用于薄膜沉积，通常用于燃料电池、装饰、半导
