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物理性质靶材名称：硅靶材元素代号：Si颜色：灰色金属光泽密度：2.4g/cm³熔点：1410℃纯度：99.99%相对致密度：>99%切面平整度：3.2Ra公差：±0.1mm晶粒度：均匀制作工艺：真空磁悬浮熔炼，浇铸成锭，热机械处理和
