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目前市场上用得较多的是氧化铌平面靶材，虽然平面靶材技术趋于成熟，但是平面靶材在使用过程中利用率只有20%—25%，也就是大部分的靶材被浪费掉，无形中增加了生产成本。为了提高靶材利用率和降低生产成本，人们在不断研究新的靶材型体，经过多年的
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目前市场上用得较多的是氧化铌平面靶材，虽然平面靶材技术趋于成熟，但是平面靶材在使用过程中利用率只有20%—25%，也就是大部分的靶材被浪费掉，无形中增加了生产成本。为了提高靶材利用率和降低生产成本，人们在不断研究新的靶材型体，经过多年的
