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结晶型的硅是暗黑蓝色的，很脆，是典型的半导体.化学性质非常稳定.在常温下，除氟化氢以外，很难与其他物质发生反应.
电阻率是硅靶材产品的重要参数之一，除特殊用途外，绝大多数硅靶材电阻率要求越低越好，开始应用时电阻率要求在0.1~0.5Ω·cm范围内，逐渐降低至小于0.1Ω·cm，目前标准电阻率为0.02~0.04Ω·cm，当电阻率降低至0.01Ω·cm以下时，加入母合金量发生指数级变增加，即由几十克增加至几千克的母合金。
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