
溅射靶材种类繁多,就ITO导电玻璃中使用硅靶,铝靶,铌靶等三种以上。显示行业主要在显示面板和触控屏面板两个产品生产环节需要使用靶材溅射镀膜。用于高清电视、笔记本电脑等。平板显示靶材技术要求也很高,它要求材料高纯度、面积大、均匀性程度高。铝、铜、钼、铬等,主要应用于薄膜太阳能电池,太阳能靶材技术要求高、应用范围大。靶材的核心功能是作为沉积薄膜的溅射源,按材质可分为金属靶、陶瓷靶与合金靶,其下游应用主要包括平板显示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域。
氧化锌铝靶材具有良好的粘接性和溅射性能,内部组织致密,在优化沉积工艺条件下,具有很好的结晶性,薄膜有明显的紫外吸收限。